Международная выставка
«Технологии и инновации в промышленности - 2017»
Новинки и инновационные
разработки
ГОМЕЛЬСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Ф. СКОРИНЫ, учреждение образования
Полирующие суспензии для первой и второй стадии химико-механической
полировки пластин монокристаллического кремния.
Полирующие суспензии – ультрадисперсные коллоидные системы на основе
пирогенного диоксида кремния. Предназначены для полировки пластин монокристаллического
кремния и германия. Полирующие суспензии обеспечивают высокую чистоту поверхности,
малую величину статического электричества на полировальнике, высокую производительность,
стабильность и минимальное загрязнение ионами металлов. Суспензии являются
однородными по фазовому и элементному составу, высокостабильными, простыми
в приготовлении и использовании, дешевыми и экологически безопасными.
|